白光幹涉儀的光源發出的光經過擴束準直後經分光棱鏡後分成兩束,一束經被測表麵反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光終匯聚並發生幹涉,顯微鏡將被測表麵的形貌特征轉化為幹涉條紋信號,通過測量幹涉條紋的變化來測量表麵三維形貌。 白光幹涉儀的測量應用說明:
以測量單刻線台階為例,在檢查儀器的各線路接頭都準確插入對應插孔後,開啟儀器電源開關,啟動計算機,將單刻線台階工件放置在載物台中間位置,先手動調整載物台大概位置,對準白光幹涉儀目鏡的下方。
在計算機上打開光學3D表麵輪廓儀測量軟件,在軟件界麵上設置好目鏡下行的低點,再微調鏡頭與被測單刻線台階表麵的距離,調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條幹涉條紋為佳,此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕,光學3D表麵輪廓儀可自動進行掃描測量,測量完成後,軟件自動生成3D圖像,測量人員可以對3D圖像進行數據分析,獲得被測器件表麵線、麵粗糙度和輪廓的2D、3D參數。
白光幹涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全麵、測量參數涵蓋麵廣的優點,測量單個精密器件的過程用時2分鍾以內,確保了高效率檢測。特有的特殊光源模式,可以廣泛適用於從光滑到粗糙等各種精密器件表麵的測量。