白光幹涉儀是用於對各種精密器件表麵進行納米級測量的儀器,它是以白光幹涉技術為原理,光源發出的光經過擴束準直後經分光棱鏡後分成兩束,一束經被測表麵反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光終匯聚並發生幹涉,顯微鏡將被測表麵的形貌特征轉化為幹涉條紋信號,通過測量幹涉條紋的變化來測量表麵三維形貌。
幹涉儀是利用幹涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相幹光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致幹涉條紋的移動,而某一束相幹光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起,所以通過幹涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定於測量光程差的精度,幹涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米),所以幹涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量精度之高是任何其他測量方法所不可比擬的。
白光幹涉儀的維護事項
1、儀器應妥善地放在幹燥、清潔的房間內,防止振動,儀器搬動 時,應托住底座,以防導軌變形。
2、光學零件不用時,應存放在清潔的幹燥盆內,以防止發黴。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。
3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲杆、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時,各調整部位用力要適當,不要強旋、硬扳。
5、導軌麵絲杆應防止劃傷、鏽蝕,用畢後,仍保持不失油狀態。
6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲,都塗有紅漆,不要擅自轉動。